据报道,韩国用于半导体制造工艺的本土氖气生产和供应预计将于2022年下半年开始。
“我们准备从下半年开始向半导体制造商供应氖气,”TEMC于2月28日表示。这种气体构成了用于半导体曝光的准分子激光气体,其在空气中的含量低至 0.00182%。
目前,韩国对进口氖气的依存度为100%。自俄乌冲突爆发以来,氖气等惰性气体的采购已成为韩国严重关切的问题。
两家韩国企业TEMC和POSCO最近建设了高纯氖气生产设备,设备年产能约为22,000立方米,相当于国内需求的16%。两家公司还在研究其他稀有气体,包括氪和氙,用于进口替代。
2021年,韩国的氖气进口包括23%来自乌克兰和5%来自俄罗斯,氪气的百分比分别为31%和17%,氙气的百分比为18%和31%。