近日，知名CIS厂商格科微宣布搬入ASML的一套ArF光刻机。
据格科微表示，目前，格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收，相关厂务系统配备进展顺利，共有61台设备已经搬入。未来，外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。
格科微表示，ArF光刻机的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。
依托自有工厂即格科半导体的先进制程，格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。
据了解，该项目总投资约155亿元，建设一座12寸、月产6万片的晶圆厂，建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线，预计年底达到量产状态。
