芯片大师曾在ASML警告!超500台DUV订单积压,仅能交付60%一文中提及,由于一台光刻机需要10万个零部件,一部分短缺造成了ASML光刻机产能的巨大缺口。
图:体积巨大的DUV光刻机镜头组
而其中构成瓶颈最重要的零部件,正是“光刻机之眼”——镜头。
Semiconductor Advisors分析师提到,ASML产能受限并不是因为芯片,也不是因为疫情或者俄乌冲突,问题是出在了ASML的供应商身上,造成瓶颈的关键供应商就是德国的蔡司(Zeiss)。
作为拥有175年历史的光学器材制造商,蔡司研究光刻已经长达50年,其光学技术直接推动了半导体制程的发展。其CTO表示,全球80%的芯片使用蔡司的光学元件制造,所言非虚。
图:蔡司因EUV光刻技术获“德国未来奖”
作为EUV光刻技术的发明人之一,蔡司的反射镜能使激光束准确击中一颗月球上的乒乓球。2020年,蔡司和德国通快(激光器制造商)、弗劳恩霍夫研究所一起被德国总统授予“德国未来奖”。
而熟悉ASML历史的朋友知道,因为和蔡司的紧密合作,成为从飞利浦剥离的ASML在21世纪反超日本佳能和尼康、在DUV时代“翻身”的关键。
线宽进入7nm时代以后,蔡司成为了当代尖端微影制程唯一的光学镜组供应商。Semiconductor Advisors分析师表示,ASML在这个部分全部依赖蔡司,别无二选。
某种角度上,风光无限的ASML更像是一家“系统集成商”,光刻技术执牛耳者蔡司则是“幕后功臣”。所以业界有人开玩笑说,磨玻璃的比玩沙子的高级。
但是这家磨了175年玻璃的公司,如今产能跟不上了。
图:蔡司下一代High NA光刻组件
尽管目前光刻机订单爆满,ASML四处扩产,但蔡司一方面本身并没有足够的空间来增加产能,同时由于其特殊的组织属性和传统,产出很难跟上井喷的市场需求。
5月6日,德国工会与蔡司集团达成一致,蔡司的2,400多名员工每周工作时间将从目前的38小时逐渐减少到35小时。“我们希望保持对专业人士的吸引力,”蔡司集团的一位女发言人说。
而让我们更想不到的是,百年蔡司集团的唯一股东是蔡司基金会——一家官网写着以推动科学发展而非商业盈利为己任的私人基金会。该基金会规定:禁止出售股份(例如IPO),因此,该公司的股票未在任何证券交易所上市。
蔡司集团这种特殊的所有权结构确保了其高度的稳定性——不紧不慢地磨玻璃。