芯片大师曾在日耗电百万度！“高攀不起”的EUV光刻机一文中指出，台积电目前拥有超过80台EUV光刻机，均分布在中国台湾，以每天1MW的满载功耗计算，开机一天的耗电量高达192万度，相当于一座中型城市，换算成火电每天需要消耗853吨煤！
而进入3nm及以下节点后，不光投资额指数上涨，耗电量也继续飙升。以1nm芯片工厂为例，3nm、5nm工厂的建设资金大约是200亿美元，单1nm工艺的投资额高达320亿美元，轻松超过2000亿元。不仅如此，1nm工厂的耗电量也会是个麻烦，相比3nm工厂年耗电量70亿度的水平来说，1nm需要下一代EUV光刻机，总功耗将达到2MW，也就是200万瓦的水平。如果一天24小时运转，那么下代光刻机每天就要消耗4.8万度电。按年来算，1nm工厂不会少于80亿度，甚至接近100亿度，不可谓不惊人。预计到了2028年，这个1nm工厂的耗电量就相当于全台2.3%的用电量了，台积电所有工厂将占到全台15%以上。
