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告别FinFET,台积电披露2nm新结构

来源:贴片电容 发布时间:2021-12-24 浏览:415
12月22日,台积电(中国)总经理罗镇球在ICCAD 2021年会上表示,台积电将在2nm的节点推出Nanosheet/Nanowire的晶体管架构,另外还将采用新的材料。


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图:台积电(中国)总经理罗镇球

会上,罗镇球表示,台积电将在2nm节点推出Nanosheet/Nanowire的晶体管架构并采用新的材料,同时于明年3月推出5nm汽车电子工艺平台。


随着Nanosheet/Nanowire晶体管和新材料上马,也意味着,一代传奇架构FinFET(鳍式场效应晶体管)在先进工艺的寿命将最多延续至3nm节点


尽管如此,不同于三星在3nm上直接上马GAA(环绕栅极晶体管),台积电已经成功将FinFET至少延续到了3nm(至少第一代)时代。


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图:台积电的晶体管架构规划


FinFET(又称3D晶体管)系华人教授胡正明于1999年发明,他出生于北京豆芽菜胡同,曾任台积电首席技术官。FinFET第一代由Intel在2012年的22nm节点应用量产,当时台积电、三星还停留在28nm工艺。


直到Bulk CMOS工艺技术在20nm走到尽头之后,胡教授发明的FinFET和FD-SOI工艺得以使三星/台积电的14nm/16nm延续摩尔定律传奇至今。


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