据ASML官方公告，目前可以确认没有人员伤亡，但具体的损失情况还不确定。ASML公司在给媒体发布的声明中指出，评估损失需要几天时间，现在就提出是否影响今年业绩或者就损害索赔等问题还为时尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas，该公司于2020年被ASML公司收购，年营收为2.3亿欧元，主要为ASML光刻机制造光学系统——包括“晶圆台、标线卡盘和反射镜块”，是光刻机的三大核心部件之一。
作为ASML的前三大客户，若火灾造成光刻机交货出现问题，台积电、英特尔和三星的工艺升级和产能扩张势必受到影响。据台媒报道，台积电当日股价大涨3.49%，有消息称台积电多数订购的ASML机台已经陆续到货。
2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约合386亿元），毛利率51.7%，净利润17亿欧元（约合126亿元）。
其中，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV（极紫外）光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，创造了每小时加工160片晶圆的最高纪录。
DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。
