6月7日至18日，三星集团副会长李在镕访问欧洲并拜访ASML，台媒称此行目标主要在最新一代EUV光刻机的采购与下一代设备的合作计划。
台湾工商时报援引业界解读称，李在镕亲访ASML，“固桩”意味浓厚，让三星与台积电为明、后年启动的美国及日本晶圆厂投资计划，提前掀起EUV“抢机台大战”。
数据显示，台积电目前EUV机台安装量占全球50%，而EUV晶圆制造产出量占全球65%，在该领域的使用经验与量产能力上均有优势。
传闻去年ASML的EUV设备年度出货量为48台，其中，三星购得15台，台积电为20台。预计今年ASML EUV出货量为51台，其中三星预定18台，台积电则至少确保22台。
同时，下一代High-NA EUV 设备因为精密度更高、设计零件更多，价格再次刷新认知，参见芯片大师此前文章价格翻倍！ASML：下一代EUV单台约22亿元。其中，最新款量产系统EXE:5200由英特尔率先下订，单台报价在3-4亿美元左右。
