近日,嘉兴南湖政府网站披露,张汝京博士作为项目领衔人及其团队等出席总投资30亿元的光罩材料产业链项目签约仪式。
图:嘉兴市人民政府公告
芯片大师曾报道张汝京:下一站,国产半导体设备,2021年底在万业企业旗下嘉芯半导体启动半导体设备项目时,作为后者第二大股东宁波芯恩的主要股东和董事长,张汝京博士并未现身。
但坊间一直传闻张博士淡出青岛芯恩乃至加盟上海积塔半导体,他本人亦私下表示“对设备一直有兴趣”,本次时隔数年,74岁高龄的他终于现身嘉兴南湖光罩项目签约现场。
图:签约仪式(张汝京博士为后排左起第五位)
据悉,该项目总投资30亿元,首期投资11亿元,将落户于南湖高新区集成电路产业园,主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造,产品包括高平整度石英基板、镀膜基板(含二元及相位移的)、保护膜的原材料。项目计划于今年9月启动。
光罩,也称为光掩模版,是半导体光刻工艺中所需的高精密工具,也是芯片制造环节的关键原材料,直接决定光刻工艺水平。
图:张汝京博士一行
签约仪式上,张汝京表示,随着半导体产业的迅速发展,光罩作为芯片的关键原材料,市场需求不断上升。
目前,光罩材料部分产品完全依赖进口,尤其是光罩保护膜,目前仅有海外少数几家厂商有能力生产,国内该方面技术仍为空白。本项目旨在成为国内光罩上游材料龙头,解决国内半导体材料“卡脖子”问题。
若项目能够顺利落地,将是张汝京博士继创办中芯国际(晶圆代工)、新昇半导体(大硅片)、青岛芯恩(CIDM)等重大项目后的又一大致力于解决半导体“卡脖子”的壮举。